ITO-Glas In dem leitenden Oxidfilm hat der Sn-dotierte In 2 O 3 (ITO) -Film die höchste Durchlässigkeit und die beste Leitfähigkeit, und es ist einfach, ein feines Muster in der sauren Flüssigkeit zu ätzen. Seine Durchlässigkeit hat mehr als 90% erreicht. Die Durchlässigkeit und der Widerstand von ITO werden durch das Verhältnis von In2O3 zu Sn2O3, üblicherweise SnO2: In2O3 = 1: 9, gesteuert.
ITO ist ein Oxidhalbleiter vom N-Typ - Indiumzinnoxid. Der ITO-Dünnfilm ist ein transparenter leitfähiger Indium-Zinnoxid-Halbleiterfilm. Es gibt normalerweise zwei Hauptleistungsindikatoren: Widerstand und Lichtdurchlässigkeit.
Gegenwärtig beträgt der spezifische Widerstand des ITO-Films im allgemeinen etwa 5 · 10 & supmin; & sup4 ;, vorzugsweise bis zu 5 · 10 & supmin; & sup5 ;, was nahe dem spezifischen Widerstand von Metall ist. In praktischen Anwendungen wird der Schichtwiderstand häufig verwendet, um die leitenden Eigenschaften von ITO zu charakterisieren. Die Transmission kann über 90% erreichen. Die Durchlässigkeit und der Widerstand des ITO-Films werden durch das Verhältnis von In 2 O 3 bzw. Sn 2 O 3 gesteuert. Eine Erhöhung des Yttrium-Verhältnisses kann die Durchlässigkeit von ITO erhöhen, normalerweise Sn2O3: In2O3 = 1: 9. Da die Dicke des Zinnoxids 200 Å übersteigt, ist die Transparenz gewöhnlich nicht gut genug, obwohl die Leitfähigkeit gut ist.
ITO hat freie Ionen auf der Oberfläche und ist anfällig für Redoxreaktionen und ITO-Korrosion beim Einschalten. Daher müssen wir die Elektrode des LCD nicht mit bloßen Händen berühren, da das im menschlichen Schweiß enthaltene Halogen (cl-Element) der natürliche Feind von ITO ist.
